Príomhphróisis:
- Sputtering Magnetron Fholúis (sraitheanna ultra-tanaí / tanaí / meánacha-tiubh)
- Underlayer leictreaphlátála + Próiseas Ilchodach Sputtering Magnetron (sraitheanna tiubh)
Cineálacha Spriocanna cóimhiotal nicile:
NiCr, NiTi, NiCu, NiCrAl (paraiméadair ghinearálta; is féidir mionchoigeartuithe a dhéanamh de réir cumadóireachta sonracha cóimhiotail)
Ábhair Foshraithe:
Copar / moluibdín / Tíotáiniam / Graifít (foshraitheanna sprice a úsáidtear go coitianta)
Tiús Cumhdaithe vs. Tréithe Próisis agus Feidhmchláir
| Cumhdach Raon Tiús | Príomhthréithe Próisis | Timpeallachtaí tipiciúla Feidhmchláir | Cineálacha Sprioc Ionadaíochta |
|---|---|---|---|
| Ultra{0}}ciseal tanaí (0.1–1 μm) | Ráta sputtering íseal; éilíonn rialú beacht ar chumhacht agus ar am sil-leagan; aonfhoirmeacht tiús an-ard | 1. Sraitheanna modhnú dromchla le haghaidh spriocanna sliseanna leathsheoltóra chun friotaíocht ocsaídiúcháin a fheabhsú; 2. Sraitheanna aistrithe do spriocanna brataithe optúla chun frithchaiteacht optúil a fheabhsú; 3. Bratuithe frith-chreimeadh le haghaidh spriocanna leictreonacha beachta a úsáidtear i dtimpeallachtaí atá beagán creimneach |
Spriocanna cóimhiotail NiCr (leathsheoltóra); Spriocanna cóimhiotail NiTi (feidhmchláir optúla) |
| Ciseal Than (1–10 μm) | Iarmhéideanna sciath aonfhoirmeacht agus costas; oiriúnach le haghaidh sputtering magnetron nó leictreaphlátála + sputtering próisis ilchodacha | 1. Sraitheanna nasctha le haghaidh spriocanna maighnéadrón plánach chun an t-ábhar sprice a nascadh le plátaí taca (m.sh., taca copair); 2. Sraitheanna feidhmiúla le haghaidh spriocanna fótavoltach chun seoltacht leictreach a fheabhsú; 3. Sraitheanna cosanta do ghnáthspriocanna folúsbhrataithe faoi ghnáthchoinníollacha ualaigh |
Spriocanna cóimhiotail NiCu (fótavoltach); spriocanna nicil íon (sraitheanna nasctha) |
| Ciseal meánach-tiubh (10–30 μm) | Éilíonn sputtering deighilte chun ardú teochta iomarcach a sheachaint; post{0}}moltar anáil taisce chun strus inmheánach a mhaolú | 1. Caith-sraitheanna frithsheasmhacha le haghaidh spriocanna rothlacha chun saol seirbhíse a leathnú i bhfeidhmchláir sputtering ardchumhachta; 2. Bratuithe cosanta le haghaidh spriocanna resistant creimeadh i dtimpeallachtaí tais nó beagán aigéadach/alcaileach; 3. Bunsraitheanna do spriocanna spraeála teirmeacha chun greamaitheacht brataithe-foshraith a fheabhsú |
Spriocanna cóimhiotail NiCrAl (friotaíocht caitheamh); Spriocanna cóimhiotail NiMo (friotaíocht creimeadh) |
| Ciseal Tiubh (30–50 μm) | Fochiseal leictreaphlátála in éineacht le ramhrú sputtering chun am agus costas sputtering iomlán a laghdú | 1. Lódáil-sraitheanna iompair le haghaidh spriocanna brataithe tionsclaíochta ardchumhachta a úsáidtear i{-sputtering leanúnach fadtéarmach; 2. Sraitheanna cosanta do spriocanna a oibríonn i dtimpeallachtaí atá thar a bheith creimneach (eg, feidhmchláir mhuirí); 3. Sraitheanna ceartúcháin maoile le haghaidh spriocanna mórmhéide |
Spriocanna cóimhiotail NiTi (sciath tionsclaíoch); Spriocanna cóimhiotail NiCr (timpeallacht mhór) |
III. Príomhghnéithe a Bhaineann le Próiseas Meaitseála agus Tiús Brataithe
1. Rialú Aonfhoirmeachta Tiús
Ba cheart an tiús sciath ar fud an spriocdhromchla iomlán a rialú laistigh±5%. D'fhéadfadh creimeadh sprioc míchothrom a bheith mar thoradh ar dhiall iomarcach le linn sputtering, rud a chuireann isteach go diúltach ar cháilíocht an bhrataithe. Is féidir aonfhoirmeacht a fheabhsú tríd an sprioc-go-fad an tsubstráit a-a bharrfheabhsú agus úsáid a bhaint as foshraitheanna rothlacha.
2. Gaol idir Comhdhéanamh Cumhdaithe agus Tiús
- Le haghaidhsraitheanna ultra-tanaí (< 1 μm), is fearr-bratuithe nicil chomhpháirt aonair chun deighilt eilimint chóimhiotail a sheachaint.
- Le haghaidhthicker layers (> 10 μm), is féidir cótaí cóimhiotal nicile il-chomhpháirte a úsáid chun riachtanais fheidhmiúla a chomhlíonadh, amhail caitheamh nó friotaíocht creimeadh.
3. Tionchar Timpeallachta Iarratais ar Thiús Cumhdaithe
- Feidhmchláir sputtering cumhachta ard-chaitheamh nó ard-→ Bratuithe meánacha-tiubh nó tiubh (10–50 μm)
- Leictreonaic bheachtais agus feidhmchláir optúla→ Bratuithe ultra-tanaí nó tanaí (0.1–10 μm)
- Timpeallachtaí creimneach níos ionsaithí→ Bratuithe níos tiús in éineacht le cóimhiotail nicil resistant creimeadh (eg, NiCr, NiMo)
